Centre de Caractérisation et Procédés Plasma et Laser pour la micro-nanofabrication

Picto Chimie et Génie des procédés Picto Matériaux Picto Mécanique des fluides / Aérodynamique Picto Micro et Nano-électronique Picto Micro et Nanosystèmes Picto Nanosciences et nanotechnologies Picto Plasmas et Lasers

C2P2L

Key data

Scientific field(s):
Génie des procédés, Matériaux, Mécanique des fluides, Micro et Nano-électronique, Micro et Nanosystèmes, Nanotechnologies, Plasmas
Field(s) of application:
Efficacité énergétique, Électronique, Technologies pour la santé
Laboratory:
Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
Year of establishment:
2012
Network:
Renatech+
Location:
Orléans
Operational manager of the platform:
Loïc BECERRA
Contact the platform
https://www.univ-orleans.fr/fr/gremi/equipements/plateformes/centre-de-caracter…

Scientific missions

Cette plateforme est un ensemble d’équipements à disposition du laboratoire GREMI pour l’élaboration de micro/nano-objets et l’optimisation des procédés plasma de dépôts et de gravure avec l’aide de technologies de nanofabrication. Constituée d'une salle blanche de 100m2 ISO 6 ainsi que d'un espace voisin en environnement propre ISO 8, la plateforme comporte plusieurs réacteurs de procédés plasma ainsi qu'un grand nombre de moyens de caractérisation des matériaux. 

Scientific objectives

Ses objectifs scientifiques sont la gravure sèche et la microélectronique.