Plateforme Technologie Amont

Picto Chimie et Génie des procédés Picto Micro et Nano-électronique Picto Micro et Nanosystèmes Picto Nanosciences et nanotechnologies

PTA

Key data

Scientific field(s):
Génie des procédés, Micro et Nano-électronique, Micro et Nanosystèmes, Nanotechnologies
Field(s) of application:
Électronique, Technologies pour la santé, Télécommunications
Laboratory:
LABORATOIRE DES TECHNOLOGIES DE LA MICROELECTRONIQUE
Year of establishment:
2007
Network:
RenatechCARATS
Location:
Grenoble
Operational manager of the platform:
Guillaume GAY
Contact the platform
https://pta-grenoble.com/

Tags

Micro nano-fabrication

Scientific missions

Fournir, maintenir et développer une plateforme compétitive de salles blanches dédiée à la micro- nano-fabrication et dotée d’un parc d’équipements complet à l’état de l’art pour répondre aux besoins de la recherche académique jusqu’à la R&D industrielle.

Scientific objectives

L’objectif de la plateforme est de permettre des études de faisabilité, des preuves de concept et des réalisations de composants et démonstrateurs technologiques. Elle permet ainsi de réaliser l'intégration de micro et nano-objets, de nouveaux matériaux, ou encore de structurer les couches minces dans une gamme de dimension nanométrique grâce à diverses méthodes et outils de lithographie, dépôt et gravure. La PTA permet de processer tous types de substrat jusqu'au substrat 4’’ et tous types de matériaux. Les composants réalisés concernent les thématiques suivantes : micro et nanoélectronique, MEMS & NEMS, magnétisme et spintronique, intégration de nano-matériaux et nano-objets, photonique, dispositif pour les biotechnologies...