Plateforme Technologie Amont

Missions scientifiques

Fournir, maintenir et développer une plateforme compétitive de salles blanches dédiée à la micro- nano-fabrication et dotée d’un parc d’équipements complet à l’état de l’art pour répondre aux besoins de la recherche académique jusqu’à la R&D industrielle.

Objectifs scientifiques

L’objectif de la plateforme est de permettre des études de faisabilité, des preuves de concept et des réalisations de composants et démonstrateurs technologiques. Elle permet ainsi de réaliser l'intégration de micro et nano-objets, de nouveaux matériaux, ou encore de structurer les couches minces dans une gamme de dimension nanométrique grâce à diverses méthodes et outils de lithographie, dépôt et gravure. La PTA permet de processer tous types de substrat jusqu'au substrat 4’’ et tous types de matériaux. Les composants réalisés concernent les thématiques suivantes : micro et nanoélectronique, MEMS & NEMS, magnétisme et spintronique, intégration de nano-matériaux et nano-objets, photonique, dispositif pour les biotechnologies...